微壓差表廣泛應(yīng)用于藥廠和微電子廠對環(huán)境微壓差的測量，它是利用簡單、無摩擦的磁體螺旋運動，以橡膠膜片作為敏感元件進(jìn)行測量的彈性式壓力表，可以利用指針較快的指示出壓力值。作為彈性元件式壓力表，檢定時采用的是JJG 52—2013彈性元件式一般壓力表檢定規(guī)程。但微壓差表是一種特殊的壓力表，它是用于測量兩個壓力的差值，而且測量的差壓值非常小，當(dāng)采用JJG 52—2013檢定規(guī)程會出現(xiàn)比較常見的問題，下面就這些常見的問題進(jìn)行分析。
1、標(biāo)準(zhǔn)器不能完全覆蓋
目前檢定微壓差表的常用標(biāo)準(zhǔn)器有補償式微壓計和數(shù)字壓力計。微壓差表有些量程為0～30Pa準(zhǔn)確度等級為4級，則允許誤差為±1.2 Pa，依據(jù)JJG 52—2013壓力表檢定規(guī)程要求標(biāo)準(zhǔn)表的允許誤差不大于被檢表允許誤差的四分之一，所以檢定0～30Pa微壓差表的標(biāo)準(zhǔn)器允差應(yīng)不大于±0.3Pa，而一等補償式微壓計的允差為±0.4Pa，測微壓的數(shù)字壓力計對傳感器的要求很高，一些數(shù)字壓力計的允差最小只能做到±0.5Pa，且JJG 52—2013檢定規(guī)程規(guī)定如果用數(shù)字壓力計當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)器必須0.05級以上且年穩(wěn)定性合格，所以補償式微壓計和數(shù)字壓力計當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)器都很難完全覆蓋微壓差表所有量程。對于不能覆蓋的量程范圍，檢定時不能判斷其是否合格，不能出具檢定證書，只能出具校準(zhǔn)證書并給出不確定度供客戶參考。
2、微壓差表靜壓零位誤差測量
微壓差表用于測量兩個壓力差值，有高壓和低壓端口，存在靜壓影響，應(yīng)測量其靜壓零位誤差，而JJG 52—2013檢定規(guī)程沒有對靜壓零位誤差的測量進(jìn)行要求。當(dāng)測量微壓差表的靜壓零位誤差較大時，可能會導(dǎo)致此表在工作中所測量的差壓值出現(xiàn)較大的誤差，若超出允許誤差范圍，就不能判斷此微壓差表合格。所以建議在檢定微壓差表時應(yīng)測量其靜壓零位誤差，當(dāng)靜壓零位誤差較大時應(yīng)謹(jǐn)慎出具檢定證書。靜壓零位誤差測量方法:將微壓差表高壓端和低壓端通過三通管連接在壓力發(fā)生器上，通過壓力發(fā)生器產(chǎn)生額定靜壓，然后讀取被檢表零位的變化量。
本實驗室選擇10臺準(zhǔn)確度等級為4級量程為0～60Pa的微壓差表進(jìn)行靜壓零位誤差測量實驗，根據(jù)說明書規(guī)定施加額定靜壓10kPa，重復(fù)測量三次取平均值。靜壓零位誤差測量結(jié)果分別為:0.0、0.0、－0.4、0.0、+0.8、0.0、+0.4、+0.4、0.0、0.0Pa，分度值為2Pa。
實驗結(jié)果顯示這10臺微壓差表靜壓零位誤差都在允差范圍內(nèi)，如果靜壓零位誤差大于最大允許誤差，建議出具校準(zhǔn)證書且告知客戶靜壓零位誤差偏大。
3、微壓差表壓力穩(wěn)定時間的測量
在檢定過程中給微壓差表施加壓力時，發(fā)現(xiàn)有個別的表指針偏轉(zhuǎn)雖然平穩(wěn)但指針偏轉(zhuǎn)相對緩慢，出現(xiàn)滯后的情況，可能是因為微壓差表機械結(jié)構(gòu)出現(xiàn)問題導(dǎo)致靈敏度較差引起的。微壓差表如果滯后的時間較長就不能及時的顯示所測量的差壓值，可能會給企業(yè)的使用帶來一定的影響。而JJG 52—2013檢定規(guī)程沒有對壓力穩(wěn)定的時間進(jìn)行要求，所以建議在檢定微壓差表時可以測量壓力穩(wěn)定所需時間。微壓差表穩(wěn)壓時間測量方法:施加微壓差表測量范圍上限壓力，測量從標(biāo)準(zhǔn)器壓力穩(wěn)定時到被檢表壓力穩(wěn)定所需的時間。從平時的檢定中發(fā)現(xiàn)微壓差表穩(wěn)壓時間在5s以內(nèi)，當(dāng)微壓差表穩(wěn)壓時間在10s以上時應(yīng)謹(jǐn)慎出檢定證書，建議出具校準(zhǔn)證書，并告知客戶穩(wěn)壓時間過長。
